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                硅片烧结升降炉原理

                 更新时间:2025-04-17 点击量:370

                邦世达硅片烧结升降炉的原理基于精准温控、气氛调控与机械升降的协同作用,专为硅片烧结工艺设计,实现稳定的材料处理。

                1. 温控系统

                采用PID智能温控仪表,可预设多段升温、恒温、降温程序,温度控制精度达±1℃。通过硅碳棒或硅钼棒加热元件,配合双层炉壳风冷系统及轻质保温材料,确保炉内温度均匀性,满足硅片烧结对温度稳定性的严苛要求。

                2. 炉体升降结构

                电动环状销轮减速器驱动炉体沿内外轨道升降,装卸料时炉体下降至低位,减少搬运震动对硅片的损伤;烧结时炉体上升至高温区,实现密闭环境下的均匀加热。

                3. 气氛控制

                通过气体流量计向炉内通入氮气、氢气等保护气氛,防止硅片氧化。高精度热电偶实时监测炉内气氛及温度,确保烧结过程的气体纯度与温度一致性。

                4. 安全与自动化

                炉门开启时自动断电,配备过流、限流、过热保护功能,确保操作安全。支持程序化运行,用户可一键启动预设工艺,减少人工干预,提升生产效率。

                邦世达升降炉通过模块化设计,兼顾高温稳定性与操作便捷性,适用于半导体、电子陶瓷等领域的小批量生产与科研实验。


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